电子背散射衍射(EBSD)样品制备简介

EBSD花样采集过程中,衍射电子信号来自于样品表面以下几十纳米的范围,因此样品制备对于EBSD数据采集至关重要。

如果样品表面这个尺度内发生了形变、污染或氧化,那么背散射电子的衍射效应就会被削弱,采集不到有效的衍射花样信息,后续EBSD分析也就无从谈起。

对某些材料而言,使用标准的金相抛光制样方法,小心抛光,就可以成功得到衍射花样。一般来说,遵循标准制样方法,完成机械切割、金相打磨、金相抛光这些步骤,最后加上额外的二氧化硅凝胶抛光就可以满足EBSD分析要求。

然而很多情况下,不同材料对常见制备方法的适用性并不相同。

安装样品的样品架
安装样品的样品架

此时就要考虑到每种相成分的特性,并尝试找到最优的制备工艺。有时候咨询制样设备制造商,借鉴其多种材料的制备工艺经验,找到适用于当前多相复合材料的工艺配方,不失为提高科研效率的好办法。

样品制备成功,通过EBSD设备采集到衍射花样信息并进行标定,就可以获得材料微观组织和取向信息,从而进行材料性能的分析。

安装样品的样品架
安装样品的样品架

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