EBSD系统的校准

一套EBSD系统必须经过校准才能正确的工作。这其中涉及到测量样品到荧光屏的距离(Detector Distance,DD)和荧光屏上的花样中心(Pattern Centre,PC,是指荧光屏上距离样品上衍射花样产生点最近的点,即垂足)。

EBSD系统的校准有多种方法。我们倾向于以下方法:对于一系列不同的工作距离,改变探头的伸入位置和升降高度(如下图),记录样品上同一个点的衍射花样。通过图像相关性分析,可以计算出不同几何条件下的花样中心;通过不同探头伸入位置的花样缩放系数,可以计算样品到荧光屏的距离。

在现代化的EBSD系统中,这些校准过程是程序自动完成的。采集不同几何条件下的花样,并生成一个校准矩阵,这样,在日常EBSD实验中,系统会自动调用这些校准参数并保证数据的准确。

用于EBSD系统校准的移动屏幕法示意图

EBSD系统的典型校准程序。花样中心可以通过关联不同探头伸入位置的花样特征来得到。

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