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EBSD系统必须进行校准才可以正常工作。

通常需要校准的参数是样品到荧光屏的距离和荧光屏上花样中心(花样中心是电子束轰击在样品上的点,在荧光屏上的垂直投影点的位置)。

有多种方法可以用于校准EBSD系统。首选的方法是,在不同的工作距离(WD),或探头处于不同的插入位置上,收集样品上同一点的衍射花样。利用图像的相关性,可以确定在不同的几何状态下的花样中心,测量图像之间的缩放因子,从而计算探测器到样品的距离(DD)。

在现代化的EBSD系统中,整个校准过程是自动完成的。在不同的几何状态下采集花样,生成校准参数。从而在任何几何条件下使用EBSD系统,都在校准状态。

通过关联探测器在不同位置时的电子背散射衍射花样(EBSP)的特征,来确定花样中心。花样中心在探测器位置移动时位置不变,并且是背散射衍射花样的缩放点。

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