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EBSD样品一般与电子束入射方向成约70°夹角,使样品中的衍射花样对比度和背散射电子的强度达到最佳。

图 8 倾斜对硅样品衍射花样的影响

Sample tilt 70 degrees

(a) 样品倾斜70°

Sample tilt 60 degrees

(b) 样品倾斜60°

Sample tilt 50 degrees

(c) 样品倾斜50°

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