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一个典型的EBSD系统包括:

  • 晶态样品,利用扫描电镜样品台或预倾台使其与水平方向呈70º角倾斜;
  • 荧光屏,将样品散射的电信号转换成可见光;
  • 灵敏相机,检测荧光屏上形成的电子花样图像;
  • 插入机制,在使用时可精确控制探测器位置,在不使用时收回探测器至安全位置以避免干扰扫描电镜操作;
  • 控制SEM的电子技术,包括电子束和样品台运动;
  • 计算机和软件,用于操控EBSD实验,收集和分析衍射花样及显示结果;
  • 前散射探测器(FSD),安装在荧光屏周围,在采集EBSD数据之前,用于生成样品微观组织图像;
  • EBSD系统可以与EDS系统集成使用。

典型的EBSD系统

figure 1a

(a) EBSD系统主要部件图

figure 1b

(b) EBSD系统与EDS系统集成使用示意图

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